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Al掺杂ZnO薄膜的厚度对其结构及磁学性能的影响

岂云开 顾建军 刘力虎 张海峰 徐芹 孙会元

Al掺杂ZnO薄膜的厚度对其结构及磁学性能的影响

岂云开, 顾建军, 刘力虎, 张海峰, 徐芹, 孙会元
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  • 采用直流磁控共溅的方法在玻璃基底上制备了不同厚度的Al掺杂ZnO薄膜,并在真空和空气中分别退火.利用X射线衍射仪(XRD)和物理性能测量仪(PPMS)对系列薄膜的结构和磁性进行了表征.XRD结果显示:随着膜厚的增加,晶粒尺寸逐渐增大,薄膜的内应力逐渐减小.在空气退火的薄膜样品中观察到了室温的铁磁性,薄膜的饱和磁化强度Ms 随着膜厚的增加而增大,而矫顽力Hc却随着膜厚的增加而减小.
    • 基金项目: 河北省自然科学基金 (批准号:A2009000254)、河北师范大学博士基金(批准号:L2006B10)、河北省新型薄膜材料重点实验室开放课题和河北民族师范学院2010年度项目(批准号:201004)资助的课题.
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    Dietl T, Ohno H, Matsukura F, Cibert J, Ferrand D 2000 Science 287 1019

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    Liu X C, Shi E W, Chen Z Z, Zhang H W, Xiao B, Song L X 2006 Appl. Phys. Lett. 88 252503

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    Kane M H, Shalini K, Summers C J, Varatharajan R, Nause J, Vestal C R, Zhang Z J, Ferguson I T 2005 J. Appl. Phys. 97 023906

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    Wolf S A, Awschalom D D, Buhrman R A, Daughton J M, von Molnar S, Roukes M L, Chtchelkanova A Y, Treger D M 2001 Science 294 1488

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    Liu X C, Zhang H W, Zhang T, Chen B, Chen Z, Song L,Shi E 2008 Chin. Phys. B 17 1371

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    Hou D L, Ye X J, Meng H J, Zhou H J, Li X L, Zhen C M, Tang G D 2007 Appl. Phys. Lett. 90 142502

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    [15]

    Zhang Y B, Li S, Goh G K L, Tripathy S 2008 Appl. Phys. Lett. 93 102510

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    Lim W T, Lee C H 1999 Thin Solid Films 353 12

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    Hsu H S, Huang J C A, Huang Y H, Liao Y F, Lin M Z, Lee C H, Lee J F, Chen S F, Lai L Y, Liu C P 2006 Appl. Phys. Lett. 88 242507

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出版历程
  • 收稿日期:  2010-12-30
  • 修回日期:  2011-02-14
  • 刊出日期:  2011-03-05

Al掺杂ZnO薄膜的厚度对其结构及磁学性能的影响

  • 1. (1)河北省新型薄膜材料重点实验室,石家庄 050016; (2)河北师范大学物理科学与信息工程学院,石家庄 050016;河北省新型薄膜材料重点实验室,石家庄 050016; (3)河北师范大学物理科学与信息工程学院,石家庄 050016;河北省新型薄膜材料重点实验室,石家庄 050016;河北民族师范学院物理系, 承德 067000
    基金项目: 

    河北省自然科学基金 (批准号:A2009000254)、河北师范大学博士基金(批准号:L2006B10)、河北省新型薄膜材料重点实验室开放课题和河北民族师范学院2010年度项目(批准号:201004)资助的课题.

摘要: 采用直流磁控共溅的方法在玻璃基底上制备了不同厚度的Al掺杂ZnO薄膜,并在真空和空气中分别退火.利用X射线衍射仪(XRD)和物理性能测量仪(PPMS)对系列薄膜的结构和磁性进行了表征.XRD结果显示:随着膜厚的增加,晶粒尺寸逐渐增大,薄膜的内应力逐渐减小.在空气退火的薄膜样品中观察到了室温的铁磁性,薄膜的饱和磁化强度Ms 随着膜厚的增加而增大,而矫顽力Hc却随着膜厚的增加而减小.

English Abstract

参考文献 (16)

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