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硅基二维平板光子晶体高Q微腔的制作和光谱测量

周长柱 王晨 李志远

硅基二维平板光子晶体高Q微腔的制作和光谱测量

周长柱, 王晨, 李志远
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  • 利用微加工技术, 在SOI上制作出了高Q值的光子晶体微腔, Q值可以达7104以上, 为后续的光与物质相互作用和量子信息方面的实验奠定了基础. 实验结果与理论模拟符合得较好. 通过三维时域有限差分法模拟, 得到光子晶体微腔的Q值为1.2105左右.
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号: 10525419)和国家重点基础研究发展计划(973计划)(2011CB922002)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2011-01-07
  • 修回日期:  2011-02-15
  • 刊出日期:  2012-01-05

硅基二维平板光子晶体高Q微腔的制作和光谱测量

  • 1. 中国科学院物理研究所光物理重点实验室, 北京 100190
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号: 10525419)和国家重点基础研究发展计划(973计划)(2011CB922002)资助的课题.

摘要: 利用微加工技术, 在SOI上制作出了高Q值的光子晶体微腔, Q值可以达7104以上, 为后续的光与物质相互作用和量子信息方面的实验奠定了基础. 实验结果与理论模拟符合得较好. 通过三维时域有限差分法模拟, 得到光子晶体微腔的Q值为1.2105左右.

English Abstract

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