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双频容性耦合等离子体密度径向均匀性研究

蒋相站 刘永新 毕振华 陆文琪 王友年

双频容性耦合等离子体密度径向均匀性研究

蒋相站, 刘永新, 毕振华, 陆文琪, 王友年
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  • 利用自主研制的全悬浮双探针, 对影响双频容性耦合等离子体径向均匀性的因素进行了研究. 发现低频功率、放电气压和放电间距对径向均匀性有明显影响. 合适的低频功率、放电气压及较大的极板间距可以得到更均匀的等离子体. 采用与实验相同的放电参数, 利用改进的二维流体模型进行理论模拟, 得到了不同极板间距下径向离子密度分布, 并和实验测量结果进行了比较, 两者的变化趋势基本符合.
    • 基金项目: 国家自然科学基金重点项目(批准号: 10635010)资助的课题.
    [1]

    Lee J K, Babaeva N Y, Kim H C, Manuilenko O V, Shon JW2004 IEEE Trans. Plasma Sci. 32 47

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    Godyak V A, Piejak R B, Alexandrovich BM1992 Plasma Sourc. Sci. Technol. 1 36

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出版历程
  • 收稿日期:  2010-12-14
  • 修回日期:  2011-02-04
  • 刊出日期:  2012-01-05

双频容性耦合等离子体密度径向均匀性研究

  • 1. 大连理工大学物理与光电工程学院, 大连 116024;
  • 2. 新疆工业高等专科学校, 乌鲁木齐 830091
    基金项目: 

    国家自然科学基金重点项目(批准号: 10635010)资助的课题.

摘要: 利用自主研制的全悬浮双探针, 对影响双频容性耦合等离子体径向均匀性的因素进行了研究. 发现低频功率、放电气压和放电间距对径向均匀性有明显影响. 合适的低频功率、放电气压及较大的极板间距可以得到更均匀的等离子体. 采用与实验相同的放电参数, 利用改进的二维流体模型进行理论模拟, 得到了不同极板间距下径向离子密度分布, 并和实验测量结果进行了比较, 两者的变化趋势基本符合.

English Abstract

参考文献 (40)

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