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金属互连电迁移噪声的非高斯性模型研究

何亮 杜磊 黄晓君 陈华 陈文豪 孙鹏 韩亮

金属互连电迁移噪声的非高斯性模型研究

何亮, 杜磊, 黄晓君, 陈华, 陈文豪, 孙鹏, 韩亮
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出版历程
  • 收稿日期:  2012-02-01
  • 修回日期:  2012-04-22
  • 刊出日期:  2012-10-05

金属互连电迁移噪声的非高斯性模型研究

  • 1. 西安电子科技大学技术物理学院, 西安 710071
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号: 61106062)和中央高校基本科研业务费(批准号: K50511050007)资助的课题.

摘要: 根据电子散射理论,多晶互连中,电阻主要起源于晶界处空位与空洞对电子的散射作用. 通过引入自由体积的概念,模拟了晶界处电子的散射过程,建立了基于自由体积的噪声非高斯性表征模型. 该模型表明,电迁移前期的噪声信号以高斯噪声为主,随电迁移过程将发生噪声信号从高斯性向 非高斯性的突变,表明噪声产生机制发生了转变,并通过双相干系数对信号的非高斯性进行了定量表征. 最终,通过实验初步证明了理论结果的正确性.

English Abstract

参考文献 (15)

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