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调制结构对c-VC/h-TiB2纳米多层膜的超硬效应的影响

李玉阁 李冠群 李戈扬

调制结构对c-VC/h-TiB2纳米多层膜的超硬效应的影响

李玉阁, 李冠群, 李戈扬
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出版历程
  • 收稿日期:  2012-05-31
  • 修回日期:  2012-07-24
  • 刊出日期:  2013-01-05

调制结构对c-VC/h-TiB2纳米多层膜的超硬效应的影响

  • 1. 上海交通大学, 金属基复合材料国家重点实验室, 上海 200240
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号: 51071104)和国家重点基础研究发展计划(批准号: 2012CB619601) 资助的课题.

摘要: 通过磁控溅射法制备了一系列不同调制结构的c-VC/h-TiB2纳米多层膜, 采用X射线衍射仪、高分辨透射电子显微镜和纳米力学探针表征了多层膜的微结构和力学性能, 研究了纳米多层膜调制结构与超硬效应的关系. 基于实验研究结果, 建立了立方结构VC和六方结构TiB2组成纳米多层膜时调制结构与硬度的关系图, 该图分为四个区域, 超硬效应产生于具有明锐界面和共格生长结构的区域中, 而在其他区域内调制结构的改变将导致多层膜微结构发生变化, 使得硬度相应降低. 这一关系图可为类似异结构纳米多层膜获得超硬效应的调制结构设计提供参考.

English Abstract

参考文献 (14)

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