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工作压强对射频辉光放电H2/C4H8等离子状态的影响

李蕊 何智兵 杨向东 何小珊 牛忠彩 贾晓琴

工作压强对射频辉光放电H2/C4H8等离子状态的影响

李蕊, 何智兵, 杨向东, 何小珊, 牛忠彩, 贾晓琴
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  • 利用辉光放电技术采用等离子体质谱诊断的方法研究了不同工作 压强下H2/C4H8混合气体等离子体中 主要正离子成分及其能量的变化规律, 并分析了压强对H2/C4H8混合气体的离解机理以及主要正离子形成过程的影响. 结果表明: 随着工作压强的增加, 碳氢碎片离子的浓度和能量均逐渐减小. 当工作压强为5 Pa时, H2/C4H8混合气体等离子体中C3H5+相对浓度最大; 压强为10 Pa时, C3H3+相对浓度最大; 压强为15, 20 Pa时, C2H5+相对浓度最大; 压强为25 Pa时, C4H9+相对浓度最大. 对H2/C4H8等离子体中的主要组分及其能量分布所进行的定性分析, 将为H2/C4H8混合气体辉光放电聚合物涂层的工艺参数优化提供参考技术基础.
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号: 10974139, 10964002)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2012-06-08
  • 修回日期:  2012-10-09
  • 刊出日期:  2013-03-05

工作压强对射频辉光放电H2/C4H8等离子状态的影响

  • 1. 中国工程物理研究院, 激光聚变研究中心, 绵阳 621900;
  • 2. 四川大学, 原子与分子物理研究所, 成都 610065
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号: 10974139, 10964002)资助的课题.

摘要: 利用辉光放电技术采用等离子体质谱诊断的方法研究了不同工作 压强下H2/C4H8混合气体等离子体中 主要正离子成分及其能量的变化规律, 并分析了压强对H2/C4H8混合气体的离解机理以及主要正离子形成过程的影响. 结果表明: 随着工作压强的增加, 碳氢碎片离子的浓度和能量均逐渐减小. 当工作压强为5 Pa时, H2/C4H8混合气体等离子体中C3H5+相对浓度最大; 压强为10 Pa时, C3H3+相对浓度最大; 压强为15, 20 Pa时, C2H5+相对浓度最大; 压强为25 Pa时, C4H9+相对浓度最大. 对H2/C4H8等离子体中的主要组分及其能量分布所进行的定性分析, 将为H2/C4H8混合气体辉光放电聚合物涂层的工艺参数优化提供参考技术基础.

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