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飞秒激光诱导自组织纳米周期结构及其光学特性的研究进展

彭娜娜 霍燕燕 周侃 贾鑫 潘佳 孙真荣 贾天卿

飞秒激光诱导自组织纳米周期结构及其光学特性的研究进展

彭娜娜, 霍燕燕, 周侃, 贾鑫, 潘佳, 孙真荣, 贾天卿
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  • 飞秒激光具有超快、超强的特点.飞秒激光微纳加工发展非常迅速. 本文综述了近十年来利用飞秒激光在金属、半导体、介质等各类材料中制备的纳米周期结构, 阐述了若干关于飞秒激光诱导纳米周期结构的物理机理的观点.讨论了基于偏振调制的多光束 干涉在半导体表面制备纳米周期结构,简要叙述了周期结构对材料光学特性的影响.
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号:51132004,11027403)、国家重大研究计划项目(批准号:2010CB923203,2011CB808105)和上海市自然科学基金重点项目(批准号:11JC1403500,10XD1401800)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2012-12-03
  • 修回日期:  2013-01-02
  • 刊出日期:  2013-05-05

飞秒激光诱导自组织纳米周期结构及其光学特性的研究进展

  • 1. 华东师范大学精密光谱科学与技术国家重点实验室, 上海 200062
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:51132004,11027403)、国家重大研究计划项目(批准号:2010CB923203,2011CB808105)和上海市自然科学基金重点项目(批准号:11JC1403500,10XD1401800)资助的课题.

摘要: 飞秒激光具有超快、超强的特点.飞秒激光微纳加工发展非常迅速. 本文综述了近十年来利用飞秒激光在金属、半导体、介质等各类材料中制备的纳米周期结构, 阐述了若干关于飞秒激光诱导纳米周期结构的物理机理的观点.讨论了基于偏振调制的多光束 干涉在半导体表面制备纳米周期结构,简要叙述了周期结构对材料光学特性的影响.

English Abstract

参考文献 (49)

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