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Be薄膜应力的X射线掠入射侧倾法分析

李佳 房奇 罗炳池 周民杰 李恺 吴卫东

Be薄膜应力的X射线掠入射侧倾法分析

李佳, 房奇, 罗炳池, 周民杰, 李恺, 吴卫东
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  • 由于铍薄膜极易被X射线穿透, 传统的几何模式下很难获得有效的X射线衍射应力分析结果. 本文采用掠入射侧倾法分析SiO2基底上Be薄膜残余应力, 相比其他衍射几何方法, 提高了衍射的信噪比, 获得的薄膜应力拟合曲线线形较好. 对Be薄膜的不同晶面分析, 残余应力结果相同, 表明其力学性质各向同性; 利用不同掠入射角下X射线的穿透深度不同, 获得应力在深度方向上的分布; 由薄膜面内不同方向的残余应力相同, 确定薄膜处于等双轴应力状态.
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号: 11204280)和 等离子体物理重点实验室基金(批准号: 9140C6805020907)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2012-12-12
  • 修回日期:  2013-03-26
  • 刊出日期:  2013-07-05

Be薄膜应力的X射线掠入射侧倾法分析

  • 1. 中国工程物理研究院 激光聚变研究中心, 绵阳 621900;
  • 2. 等离子体物理重点实验室, 绵阳 621900
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号: 11204280)和 等离子体物理重点实验室基金(批准号: 9140C6805020907)资助的课题.

摘要: 由于铍薄膜极易被X射线穿透, 传统的几何模式下很难获得有效的X射线衍射应力分析结果. 本文采用掠入射侧倾法分析SiO2基底上Be薄膜残余应力, 相比其他衍射几何方法, 提高了衍射的信噪比, 获得的薄膜应力拟合曲线线形较好. 对Be薄膜的不同晶面分析, 残余应力结果相同, 表明其力学性质各向同性; 利用不同掠入射角下X射线的穿透深度不同, 获得应力在深度方向上的分布; 由薄膜面内不同方向的残余应力相同, 确定薄膜处于等双轴应力状态.

English Abstract

参考文献 (16)

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