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不同退火温度下氧化锌薄膜可见发光与n型导电研究

聂朦 赵艳 曾勇 蒋毅坚

不同退火温度下氧化锌薄膜可见发光与n型导电研究

聂朦, 赵艳, 曾勇, 蒋毅坚
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  • 采用脉冲激光沉积法在蓝宝石衬底上制备出可见光发光良好的氧化锌薄膜, 在不同的温度下进行了后退火处理. 随着退火温度的升高, 薄膜的可见光发光发生了显著改变, 载流子浓度、迁移率、电阻率也呈现出一定的变化规律. 结合 X射线衍射、扫描电子显微镜、光致发光谱及霍尔测量, 探讨了本征氧化锌薄膜可见光发光的发射机理, 并分析了其 n型导电的原因.
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号: 51005005)和北京市教委项目(批准号: KM201210005021)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2013-02-25
  • 修回日期:  2013-05-09
  • 刊出日期:  2013-09-05

不同退火温度下氧化锌薄膜可见发光与n型导电研究

  • 1. 北京工业大学 激光工程研究院, 北京 100124
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号: 51005005)和北京市教委项目(批准号: KM201210005021)资助的课题.

摘要: 采用脉冲激光沉积法在蓝宝石衬底上制备出可见光发光良好的氧化锌薄膜, 在不同的温度下进行了后退火处理. 随着退火温度的升高, 薄膜的可见光发光发生了显著改变, 载流子浓度、迁移率、电阻率也呈现出一定的变化规律. 结合 X射线衍射、扫描电子显微镜、光致发光谱及霍尔测量, 探讨了本征氧化锌薄膜可见光发光的发射机理, 并分析了其 n型导电的原因.

English Abstract

参考文献 (24)

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