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单晶硅微纳构件加工表面性能的时变性研究

胡兴雷 孙雅洲 梁迎春 陈家轩

单晶硅微纳构件加工表面性能的时变性研究

胡兴雷, 孙雅洲, 梁迎春, 陈家轩
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出版历程
  • 收稿日期:  2013-06-20
  • 修回日期:  2013-08-27
  • 刊出日期:  2013-11-20

单晶硅微纳构件加工表面性能的时变性研究

  • 1. 哈尔滨工业大学机电工程学院, 哈尔滨 150001;
  • 2. 北京自动化控制设备研究所, 北京 100074
    基金项目: 

    国家杰出青年基金(批准号: 50925521)和国家自然科学基金(批准号: 51075092)资助的课题.

摘要: 采用蒙特卡罗方法和分子动力学方法相结合, 模拟单晶硅微纳构件加工表面的时效过程, 研究其对加工表面质量和构件力学性能的影响. 模拟结果表明: 在时效过程中, 单晶硅微纳构件加工变质层的有序度显著提高, 残余应力大幅降低, 表面粗糙度略有增加, 此外还发现加工变质层中非晶硅原子在时效过程中大幅减少, 部分非晶硅出现了再结晶现象, 其中部分BCT5-Si以及金属相(Si-Ⅱ)结构原子转化为金刚石结构(Si-I). 时效作用对加工后单晶硅微纳构件表面性能具有重要的影响, 同时可以提高微纳构件的拉伸力学性能.

English Abstract

参考文献 (13)

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