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90 nm互补金属氧化物半导体静态随机存储器局部单粒子闩锁传播效应诱发多位翻转的机理

陈睿 余永涛 上官士鹏 封国强 韩建伟

90 nm互补金属氧化物半导体静态随机存储器局部单粒子闩锁传播效应诱发多位翻转的机理

陈睿, 余永涛, 上官士鹏, 封国强, 韩建伟
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出版历程
  • 收稿日期:  2014-01-16
  • 修回日期:  2014-02-17
  • 刊出日期:  2014-06-20

90 nm互补金属氧化物半导体静态随机存储器局部单粒子闩锁传播效应诱发多位翻转的机理

  • 1. 中国科学院国家空间科学中心, 北京 100190;
  • 2. 中国科学院大学, 北京 100049
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:41304148)和中国科学院知识创新工程青年基金(批准号:O82111A17S)资助的课题.

摘要: 基于单粒子效应脉冲激光实验装置,开展了90 nm互补金属氧化物半导体静态随机存储器的单粒子翻转和闩锁效应实验,并给出了器件单粒子翻转效应位图. 实验发现,器件出现了大量的多位翻转和约20 mA的电源电流脉冲. 借助器件仿真工具,揭示了器件发生单粒子多位翻转效应的原因. 结果表明,器件局部阵列发生单粒子闩锁效应并传播到多个位单元是诱发多位翻转的主要原因. 通过对比分析脉冲激光和器件仿真实验结果,发现P/N阱电势塌陷是导致90 nm互补金属氧化物半导体静态随机存储器出现单粒子闩锁传播效应的内在物理机制.

English Abstract

参考文献 (12)

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