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射频磁控溅射制备氮化锌薄膜的椭圆偏振光谱研究

陈仁刚 邓金祥 陈亮 孔乐 崔敏 高学飞 庞天奇 苗一鸣

射频磁控溅射制备氮化锌薄膜的椭圆偏振光谱研究

陈仁刚, 邓金祥, 陈亮, 孔乐, 崔敏, 高学飞, 庞天奇, 苗一鸣
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  • 在不同的衬底温度下,使用反应射频磁控溅射法,在玻璃衬底上制备了氮化锌薄膜样品. 用X 射线衍射仪、原子力显微镜和椭偏仪对薄膜的晶体结构、表面形貌、光学性质进行了表征分析. 薄膜的晶粒尺寸会随着衬底温度的升高先增大后减小,在200 ℃时薄膜的结晶性最好. 用椭偏仪测试样品,建立物理模型计算出氮化锌薄膜在430–850 nm范围内的折射率和消光系数等光学参数. 利用Tauc公式计算出氮化锌薄膜的光学带隙在1.73–1.79 eV之间.
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号:60876006,60376007)和北京市教育委员会科技计划重点项目(批准号:KZ201410005008)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2014-01-21
  • 修回日期:  2014-03-14
  • 刊出日期:  2014-07-05

射频磁控溅射制备氮化锌薄膜的椭圆偏振光谱研究

  • 1. 北京工业大学应用数理学院, 北京 100124
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:60876006,60376007)和北京市教育委员会科技计划重点项目(批准号:KZ201410005008)资助的课题.

摘要: 在不同的衬底温度下,使用反应射频磁控溅射法,在玻璃衬底上制备了氮化锌薄膜样品. 用X 射线衍射仪、原子力显微镜和椭偏仪对薄膜的晶体结构、表面形貌、光学性质进行了表征分析. 薄膜的晶粒尺寸会随着衬底温度的升高先增大后减小,在200 ℃时薄膜的结晶性最好. 用椭偏仪测试样品,建立物理模型计算出氮化锌薄膜在430–850 nm范围内的折射率和消光系数等光学参数. 利用Tauc公式计算出氮化锌薄膜的光学带隙在1.73–1.79 eV之间.

English Abstract

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