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化学气相沉积法制备大尺寸单晶石墨烯的工艺参数研究

韩林芷 赵占霞 马忠权

化学气相沉积法制备大尺寸单晶石墨烯的工艺参数研究

韩林芷, 赵占霞, 马忠权
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  • 石墨烯作为一种二维sp2杂化碳的同素异形体, 具有优良的电学、光学、热学及力学等性质. 产业化应用石墨烯要求其具有大的尺寸且性质均一. 化学气相沉积法(CVD)的出现为制备大尺寸、高质量的石墨烯提供了可能. 本文结合近几年CVD法制备石墨烯的研究进展, 综述了影响大尺寸、单晶石墨烯制备的工艺参数, 包括衬底选择与预处理、碳源与辅助气体流量调控、腔体温度和压力控制、沉积时间以及降温速率设定等. 最后展望了制备大尺寸单晶石墨烯的研究方向.
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号: 61274067, 60876045)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2014-06-28
  • 修回日期:  2014-08-12
  • 刊出日期:  2014-12-20

化学气相沉积法制备大尺寸单晶石墨烯的工艺参数研究

  • 1. 上海大学物理系索朗联合实验室, 上海 200444
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号: 61274067, 60876045)资助的课题.

摘要: 石墨烯作为一种二维sp2杂化碳的同素异形体, 具有优良的电学、光学、热学及力学等性质. 产业化应用石墨烯要求其具有大的尺寸且性质均一. 化学气相沉积法(CVD)的出现为制备大尺寸、高质量的石墨烯提供了可能. 本文结合近几年CVD法制备石墨烯的研究进展, 综述了影响大尺寸、单晶石墨烯制备的工艺参数, 包括衬底选择与预处理、碳源与辅助气体流量调控、腔体温度和压力控制、沉积时间以及降温速率设定等. 最后展望了制备大尺寸单晶石墨烯的研究方向.

English Abstract

参考文献 (43)

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