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高气压均匀直流辉光放电等离子体的光学特性

王建龙 丁芳 朱晓东

高气压均匀直流辉光放电等离子体的光学特性

王建龙, 丁芳, 朱晓东
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出版历程
  • 收稿日期:  2014-06-24
  • 修回日期:  2014-08-28
  • 刊出日期:  2015-02-05

高气压均匀直流辉光放电等离子体的光学特性

  • 1. 中国科学技术大学近代物理系, 合肥 230026;
  • 2. 中国科学院等离子体物理研究所, 合肥 230031
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号: 11075158, 11375192)资助的课题.

摘要: 在高气压(大于100 Torr, 1 Torr=1.33322×102 Pa)平板位形的均匀直流辉光放电中, 一定条件下观察到平行排列的明暗相间的等离子体辉纹. 结合等离子体的光发射谱诊断, 研究了气体组分对等离子体光学特性的影响. 研究发现, 随着甲烷浓度的增加, 辉纹间距减小, 相应的电子激发温度降低. 当甲烷浓度增加时, 等离子体中低电离能的粒种增加, 粒子平均电离能减小, 这种情况下, 电子被电场加速较短的距离所获得的能量就可以激发粒子, 产生可见的光发射, 表现为辉纹间距缩短. 随着氩气的引入, 能够观察到明显的辉纹, 且增大氩气含量, 辉纹间距增加, 这与氩的较高电离能有关, 而相应的电子激发温度增加. 研究结果表明, 随着工作气体的改变, 等离子体辉纹间距呈现出一种对电子温度的响应.

English Abstract

参考文献 (15)

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