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掺杂硅纳米梁谐振频率的理论模型及分子动力学模拟

马霞 王静

掺杂硅纳米梁谐振频率的理论模型及分子动力学模拟

马霞, 王静
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  • 通过理论计算与模拟,研究分析了P元素替代掺杂单晶硅纳米梁的谐振频率.计算模拟了两端固支单晶硅纳米梁的谐振频率随尺寸、掺杂浓度与温度的变化.通过对计算结果与模拟结果的分析得到: 单晶硅纳米梁的谐振频率随着硅纳米梁长度尺寸的增大而减小;硅纳米梁的谐振频率随着掺杂浓度的增大而增大,但变化趋势并不明显;最后考虑了温度效应,发现掺杂硅纳米梁的谐振频率随着温度的增大而减小,但从谐振频率的数值来看,硅梁的谐振频率随温度的变化趋势并不明显,即温度对硅梁谐振频率基本无影响.由此得出结论: 掺杂浓度与温度对硅纳米梁谐振频率的影响很小,影响单晶硅纳米梁谐振频率的主要因素是尺寸大小,掺杂单晶硅纳米梁的谐振频率具有尺寸效应.
      通信作者: 王静, wjxju@163.com
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号:11064014)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2016-12-23
  • 修回日期:  2017-02-28
  • 刊出日期:  2017-05-05

掺杂硅纳米梁谐振频率的理论模型及分子动力学模拟

  • 1. 新疆大学物理科学与技术学院, 乌鲁木齐 830046
  • 通信作者: 王静, wjxju@163.com
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:11064014)资助的课题.

摘要: 通过理论计算与模拟,研究分析了P元素替代掺杂单晶硅纳米梁的谐振频率.计算模拟了两端固支单晶硅纳米梁的谐振频率随尺寸、掺杂浓度与温度的变化.通过对计算结果与模拟结果的分析得到: 单晶硅纳米梁的谐振频率随着硅纳米梁长度尺寸的增大而减小;硅纳米梁的谐振频率随着掺杂浓度的增大而增大,但变化趋势并不明显;最后考虑了温度效应,发现掺杂硅纳米梁的谐振频率随着温度的增大而减小,但从谐振频率的数值来看,硅梁的谐振频率随温度的变化趋势并不明显,即温度对硅梁谐振频率基本无影响.由此得出结论: 掺杂浓度与温度对硅纳米梁谐振频率的影响很小,影响单晶硅纳米梁谐振频率的主要因素是尺寸大小,掺杂单晶硅纳米梁的谐振频率具有尺寸效应.

English Abstract

参考文献 (25)

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