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融合散斑干涉技术的阵列式洛伦兹力微颗粒探测方法

代尚军 吴思进 王晓东 史祎诗

融合散斑干涉技术的阵列式洛伦兹力微颗粒探测方法

代尚军, 吴思进, 王晓东, 史祎诗
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  • 提出了一种阵列式洛伦兹力微颗粒探测法,该方法结合了散斑干涉技术的全场位移测量、分辨率高等特性与洛伦兹力微颗粒探测法中探测量为矢量、可探测内部缺陷等优势,探索了一种实时、在线、原位的缺陷检测方法.针对阵列式洛伦兹力微颗粒探测法中阵列式排布的多个悬臂梁位移测量问题,设计了大剪切数字散斑干涉系统,使来自于被测悬臂梁和安装悬臂梁的横梁的反射光发生干涉,形成剪切干涉,通过对相位差进行分析获得悬臂梁的绝对位移,并且以洛伦兹力及悬臂梁末端的位移量为中间量建立了散斑干涉相位差与缺陷体积之间的关系.本文通过实验成功获得了悬臂梁全场位移量以及缺陷的体积,通过散斑干涉的方法测量悬臂梁位移量理论分辨率可达30 nm,这使洛伦兹力微颗粒探测法具备了微米级缺陷的探测能力.
      通信作者: 王晓东, xiaodong.wang@ucas.ac.cn;sysopt@126.com ; 史祎诗, xiaodong.wang@ucas.ac.cn;sysopt@126.com
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号:51374190)和中国科学院重大装备项目(批准号:YZ201567)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2017-05-05
  • 修回日期:  2017-07-17
  • 刊出日期:  2017-10-05

融合散斑干涉技术的阵列式洛伦兹力微颗粒探测方法

    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:51374190)和中国科学院重大装备项目(批准号:YZ201567)资助的课题.

摘要: 提出了一种阵列式洛伦兹力微颗粒探测法,该方法结合了散斑干涉技术的全场位移测量、分辨率高等特性与洛伦兹力微颗粒探测法中探测量为矢量、可探测内部缺陷等优势,探索了一种实时、在线、原位的缺陷检测方法.针对阵列式洛伦兹力微颗粒探测法中阵列式排布的多个悬臂梁位移测量问题,设计了大剪切数字散斑干涉系统,使来自于被测悬臂梁和安装悬臂梁的横梁的反射光发生干涉,形成剪切干涉,通过对相位差进行分析获得悬臂梁的绝对位移,并且以洛伦兹力及悬臂梁末端的位移量为中间量建立了散斑干涉相位差与缺陷体积之间的关系.本文通过实验成功获得了悬臂梁全场位移量以及缺陷的体积,通过散斑干涉的方法测量悬臂梁位移量理论分辨率可达30 nm,这使洛伦兹力微颗粒探测法具备了微米级缺陷的探测能力.

English Abstract

参考文献 (23)

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