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溶胶-凝胶法制备氧化锡基薄膜的研究进展

刘贤哲 张旭 陶洪 黄健朗 黄江夏 陈艺涛 袁炜健 姚日晖 宁洪龙 彭俊彪

溶胶-凝胶法制备氧化锡基薄膜的研究进展

刘贤哲, 张旭, 陶洪, 黄健朗, 黄江夏, 陈艺涛, 袁炜健, 姚日晖, 宁洪龙, 彭俊彪, 等
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出版历程
  • 收稿日期:  2020-05-02

溶胶-凝胶法制备氧化锡基薄膜的研究进展

  • 1. 华南理工大学材料科学与工程学院发光材料与器件国家重点实验室高分子光电材料与器件研究所
  • 2. 广州新视界光电科技有限公司
  • 3. 高分子光电材料与器件研究所,发光材料与器件国家重点实验室,华南理工大学材料科学与工程学院
  • 4. 华南理工大学发光材料与器件国家重点实验室

摘要: 氧化锡薄膜由于透明度高、电学性能良好、无毒且价格便宜等特点,是一种很有潜力的氧化铟替代材料。与传统真空镀膜技术相比,溶胶-凝胶法制备薄膜具有工艺简单、成本低等优点,开始受到了人们的广泛关注。本文综述溶胶-凝胶法制备氧化锡基薄膜在n型透明导电薄膜,薄膜晶体管以及p型半导体薄膜的应用和发展,总结了当前存在的问题以及今后研究的方向。

English Abstract

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