搜索

文章查询

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

双源共蒸法制备非均匀膜的模型分析

王英剑 范正修 邵建达 沈自才

双源共蒸法制备非均匀膜的模型分析

王英剑, 范正修, 邵建达, 沈自才
PDF
导出引用
导出核心图
计量
  • 文章访问数:  2833
  • PDF下载量:  591
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2004-05-31
  • 修回日期:  2004-07-16
  • 刊出日期:  2005-01-19

双源共蒸法制备非均匀膜的模型分析

  • 1. (1)中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800; (2)中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800;中国科学院研究生院,北京 100039
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:19972010)资助的课题.

摘要: 探讨了双源共蒸法制备非均匀薄膜的堆积模型,并给出了非均匀膜的沉积速率与两种膜料沉积速率的关系.当两种膜料的沉积单分子大小近似相等或者小分子沉积速率远大于大分子时,可以近似认为混合介质膜的沉积速率等于两种膜料的沉积速率之和;当两种膜料的沉积单分子大小不满足近似相等且两种膜料的沉积速率可比较时,非均匀膜的沉积速率不能简单地用两种膜料的沉积速率之和来近似,它将随两种膜料沉积单分子的大小不同和沉积速率比不同按照不同的规律变化,并在文中给出了不同情况下的非均匀膜的沉积速率变化规律.

English Abstract

目录

    /

    返回文章
    返回