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声空化物理化学综合法制备发光多孔硅薄膜的微结构与发光特性

任 鹏 刘小兵 史向华 柳 玥 柳 毅 丁训民 侯晓远 廖太长 熊祖洪

声空化物理化学综合法制备发光多孔硅薄膜的微结构与发光特性

任 鹏, 刘小兵, 史向华, 柳 玥, 柳 毅, 丁训民, 侯晓远, 廖太长, 熊祖洪
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-03-04
  • 修回日期:  2004-04-09
  • 刊出日期:  2005-01-19

声空化物理化学综合法制备发光多孔硅薄膜的微结构与发光特性

  • 1. (1)长沙理工大学期刊中心,长沙 410076; (2)长沙理工大学物理与电子科学系,长沙 410077;复旦大学应用表面物理国家重点实验室,上海 200433; (3)复旦大学应用表面物理国家重点实验室,上海 200433; (4)湖南大学化学生物传感与计量学国家重点实验室,长沙 410082;长沙理工大学计算机与通信工程学院,长沙 410076; (5)西南师范大学物理系,重庆 400715
    基金项目: 

    湖南省自然科学基金(批准号:04JJ3030)和国家自然科学基金(批准号:19525410)资助的课题.

摘要: 声空化所引发的特殊的物理、化学环境为制备高效发光的多孔硅薄膜提供了一条重要的途径.实验结果表明,声化学处理对于改善多孔硅的微结构,提高发光效率和发光稳定性都是一项非常有效的技术.超声波加强阳极电化学腐蚀制备发光多孔硅薄膜,比目前通用的常规方法制备的样品显示出更优良的性质.这种超声的化学效应源于声空化,即腐蚀液中气泡的形成、生长和急剧崩溃,在多孔硅的腐蚀过程中,孔中的氢气泡,由于超声波的作用增加了逸出比率和塌缩,有利于孔沿垂直方向的腐蚀.

English Abstract

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