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反应等离子体中尘埃空洞形成的实验研究

吴 静 张鹏云 宋巧丽 张家良 王德真

反应等离子体中尘埃空洞形成的实验研究

吴 静, 张鹏云, 宋巧丽, 张家良, 王德真
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-01-27
  • 修回日期:  2005-03-14
  • 刊出日期:  2005-10-20

反应等离子体中尘埃空洞形成的实验研究

  • 1. 大连理工大学物理系,三束材料改性国家重点实验室,大连 116024
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:10275010)资助的课题.

摘要: 利用气体合成(乙烯和硅烷,氩气是载气)的方法,产生尘埃粒子,并在此基础上研究了悬 浮在射频等离子体鞘层上方的尘埃云及尘埃空洞.实验结果给出了尘埃云和尘埃空洞与射频 功率和气压等参数的关系曲线.

English Abstract

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