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N+离子注入聚四氟乙烯表面改性研究

L. Guzman M. Adami A. Miotello 满宝元 张运海 吕国华 刘爱华 张庆刚

N+离子注入聚四氟乙烯表面改性研究

L. Guzman, M. Adami, A. Miotello, 满宝元, 张运海, 吕国华, 刘爱华, 张庆刚
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-04-27
  • 修回日期:  2004-06-02
  • 刊出日期:  2005-03-01

N+离子注入聚四氟乙烯表面改性研究

  • 1. (1)Department of Physics,University of Trento,38050,Trento,Italy; (2)山东师范大学物理与电子科学学院,济南 250014
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:10474059,10474060),山东省自然科学基金(批准号:Y2003A01,Y2003A02)和教育部留学回国人员科研启动基金[2004]资助的课题.

摘要: 在剂量为1×1014—1×1017ions/cm2的范围内,在不同的温度条件下,用 能量为160keV氮离子对PTFE表面进行注入处理,处理后的样品用可见(514.5nm)和傅里叶红 外(1064nm)拉曼(Raman)光谱以及扫描电镜和x射线能谱仪进行检测.实验结果表明低剂量注 入可以增强PTFE晶体结构的取向和有序性;中等剂量时溅射损失效应明显,表面粗糙度加大 :高剂量注入时微观结构强烈地变化并生成CC双键,导致表面碳化.另外温度对表面改性效 果有很大的影响.刻蚀率和表面的微观结构的变化随着温度的升高而增强.离子注入前,用喷 射技术使样品覆盖一层150nm的金膜,薄膜的黏结性和硬度用划痕和透明胶带测试配合扫描 电镜进行分析.分析结果表明,黏结性在注入剂量为1014ions/cm2时明显增强,这 个结果与表面亲水性测量结果是一致的.但表面硬度只在温度为180℃时才得到了增强.

English Abstract

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