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离子束辅助沉积对类金刚石膜结构影响的计算机模拟

李之杰 潘正瑛 朱 靖 魏 启 王月霞 臧亮坤 周 亮 刘提将

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离子束辅助沉积对类金刚石膜结构影响的计算机模拟

李之杰, 潘正瑛, 朱 靖, 魏 启, 王月霞, 臧亮坤, 周 亮, 刘提将

Simulations of the structure characteristic of diamond-like carbon films formed by ion-beam-assisted deposition

Li Zhi-Jie, Pan Zheng-Ying, Zhu Jing, Wei Qi, Wang Yue-Xia, Zang Liang-Kun, Zhou Liang, Liu Ti-Jiang
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-05-20
  • 修回日期:  2004-10-20
  • 刊出日期:  2005-05-10

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