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离子束辅助沉积对类金刚石膜结构影响的计算机模拟

潘正瑛 朱 靖 魏 启 王月霞 臧亮坤 周 亮 刘提将 李之杰

离子束辅助沉积对类金刚石膜结构影响的计算机模拟

潘正瑛, 朱 靖, 魏 启, 王月霞, 臧亮坤, 周 亮, 刘提将, 李之杰
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-05-20
  • 修回日期:  2004-10-20
  • 刊出日期:  2005-05-10

离子束辅助沉积对类金刚石膜结构影响的计算机模拟

  • 1. (1)复旦大学现代物理研究所,上海 200433; (2)复旦大学现代物理研究所,上海 200433;内蒙古民族大学物理与机电学院,通辽 028043
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:10275012)资助的课题.

摘要: 采用分子动力学(MD)模拟研究了离子束辅助沉积(1BAD)生长类金刚石(DLC)膜的物理过程.分 别选C2分子和Ar离子作为沉积源和辅助沉积粒子.改变Ar的入射能量和到达比(A r/C),研 究了它对DLC膜结构的影响.重点讨论了Ar辅助沉积引起表面原子的瞬间活性变化对薄膜结构 产生的影响.分析表明,由于Ar离子的轰击引起的能量和动量的传递,大大地增强了C原子在 表面的反冲动能及迁移概率,增加了合成薄膜的SP3键含量.研究结果和实验 观察一致,并从合成机理上给出了一些定量解释.

English Abstract

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