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低能氩离子束对多孔铝阳极氧化膜表面的刻蚀效应研究

王 森 俞国军 巩金龙 李勤涛 朱德彰 朱志远

低能氩离子束对多孔铝阳极氧化膜表面的刻蚀效应研究

王 森, 俞国军, 巩金龙, 李勤涛, 朱德彰, 朱志远
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-06-15
  • 修回日期:  2005-07-25
  • 刊出日期:  2006-03-20

低能氩离子束对多孔铝阳极氧化膜表面的刻蚀效应研究

  • 1. 中国科学院上海应用物理研究所,上海 201800
    基金项目: 

    中科院知识创新工程项目、国家自然科学基金(批准号:10375085)、国家重点基础研究发展 计划(批准号:2003CB716901)和上海纳米专项基金(批准号:032nm050)资助的课题.

摘要: 用低能氩离子束(Ar+)处理了多孔铝阳极氧化膜(AAO)表面.扫描电子显微镜和原 子力显微镜结果表明,Ar+束刻蚀不仅可以有效地去除AAO反面阻挡层,还可使A AO表面产生多种特殊的形貌,如采用倾角入射可使其表面产生波纹,倾角入射同时旋转样品 台,可实现表面抛光.并结合Bradley和Harper提出的无定形材料表面波纹的形成和演化理论 解释了AAO表面波纹的特征.

English Abstract

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