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(111)择优取向的Pb(Zr0.52Ti0.48)O3铁电薄膜的制备及研究

陈建平 李新碗 郑分刚

(111)择优取向的Pb(Zr0.52Ti0.48)O3铁电薄膜的制备及研究

陈建平, 李新碗, 郑分刚
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-12-08
  • 修回日期:  2005-12-14
  • 刊出日期:  2006-06-20

(111)择优取向的Pb(Zr0.52Ti0.48)O3铁电薄膜的制备及研究

  • 1. (1)上海交通大学区域光纤通信网与新型光通信系统国家重点实验室,上海 200030; (2)苏州大学物理科学与技术学院,苏州 215006;上海交通大学区域光纤通信网与新型光通信系统国家重点实验室,上海 200030
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:90204006,60377013,10204016)和国家863计划(批准号:2002AA122022)资助的课题.

摘要: 选用不同浓度的Pb(Zr0.52Ti0.48)O3溶胶,用Sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上沉积一层厚度不同的Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 (PZT52)过渡层,经400℃烘烤、550℃退火等程序后,再用Sol-gel法在PZT52过渡层上沉积Pb(Zr0.52Ti0.48)O

English Abstract

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