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溶胶-凝胶法制备Sr2Bi4Ti5O18薄膜及其铁电性能研究

方 洪 孙 慧 朱 骏 毛翔宇 陈小兵

溶胶-凝胶法制备Sr2Bi4Ti5O18薄膜及其铁电性能研究

方 洪, 孙 慧, 朱 骏, 毛翔宇, 陈小兵
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-09-19
  • 修回日期:  2005-12-11
  • 刊出日期:  2006-06-20

溶胶-凝胶法制备Sr2Bi4Ti5O18薄膜及其铁电性能研究

  • 1. (1)扬州大学物理科学与技术学院,扬州 225002; (2)扬州大学物理科学与技术学院,扬州 225002;南京大学固体微结构物理实验室,南京 210008
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:10274066)资助的课题.

摘要: 采用溶胶-凝胶法,在氧气氛中和层层晶化的工艺条件下,成功地制备了沉积在Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上的铁电性能优良的Sr2Bi4Ti5O18 (SBTi)薄膜,并研究了SBTi薄膜的微结构、表面形貌、铁电性能和疲劳特性.研究表明:薄膜具有单一的层状钙钛矿结构,且为随机取向;薄膜表面光滑,无裂纹,厚度约为725nm;铁电性能测试显示较饱和、方形的电滞回线,当外电场强度为275kV/cm时

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