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Mn掺杂ZnO薄膜的结构及光学性能研究

赵跃智 陈长乐 高国棉 杨晓光 袁 孝 宋宙模

Mn掺杂ZnO薄膜的结构及光学性能研究

赵跃智, 陈长乐, 高国棉, 杨晓光, 袁 孝, 宋宙模
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-10-18
  • 修回日期:  2005-12-17
  • 刊出日期:  2006-03-05

Mn掺杂ZnO薄膜的结构及光学性能研究

  • 1. (1)华中科技大学激光技术国家重点实验室,武汉 430074; (2)西北工业大学理学院应用物理系,西安 710072; (3)西北工业大学理学院应用物理系,西安 710072;空军工程大学理学院,西安 710051
    基金项目: 

    国家自然基金(批准号:50331040,60171034)资助的课题.

摘要: 通过脉冲激光沉积(PLD)法在SiO2基片上制备了不同含量的Mn掺杂ZnO薄膜.X射线衍射、X射线能谱、原子力显微镜与紫外-可见分光光度计测试结果表明:少量的Mn离子的掺杂并没有改变薄膜的结构,薄膜具有(103)面的择优取向;PLD法制备的ZnO薄膜的成分与靶材基本一致,实现了薄膜的同组分沉积;薄膜表面比较平坦,起伏度小于80nm,颗粒尺寸主要集中在25nm附近;但是Mn离子的掺杂改变了ZnO薄膜的禁带宽度,随Mn掺杂含量的增加,ZnO薄膜的禁带宽度增加;当薄膜中Mn含量从6%增加到

English Abstract

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