搜索

文章查询

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

双材料微梁阵列室温物体红外成像

缪正宇 张青川 伍小平 郭哲颖 董凤良 熊志铭 陈大鹏 李超波

双材料微梁阵列室温物体红外成像

缪正宇, 张青川, 伍小平, 郭哲颖, 董凤良, 熊志铭, 陈大鹏, 李超波
PDF
导出引用
导出核心图
计量
  • 文章访问数:  3358
  • PDF下载量:  1661
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2005-07-15
  • 修回日期:  2005-10-20
  • 刊出日期:  2006-07-20

双材料微梁阵列室温物体红外成像

  • 1. (1)中国科学技术大学,中国科学院材料力学行为和设计重点实验室,合肥 230027; (2)中国科学院微电子研究所,北京 100029
    基金项目: 

    国家重点基础研究发展计划(973)计划(批准号:2006CB300404),国家自然科学基金(批准号:10232030,50076040和10472111)资助的课题.

摘要: 针对近年出现的新概念光学读出双材料微梁阵列红外成像技术,提出了具有热变形放大效果的无硅基底回折腿间隔镀金的微梁单元结构,并建立了其热机械模型,在模型分析基础上,成功的设计制作了100×100像素的焦平面阵列(focal plane array,FPA).在构建的红外成像系统中,实现了对室温物体——人体的热成像,噪声等效温度差约为200mK.实验结果与热机械模型的分析一致.

English Abstract

目录

    /

    返回文章
    返回