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光学薄膜测量时平顶光束激励的表面热透镜理论模型

杨亚培 陈潇潇 李斌成

光学薄膜测量时平顶光束激励的表面热透镜理论模型

杨亚培, 陈潇潇, 李斌成
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-12-26
  • 修回日期:  2006-02-10
  • 刊出日期:  2006-09-20

光学薄膜测量时平顶光束激励的表面热透镜理论模型

  • 1. (1)电子科技大学光电信息学院,成都 610054; (2)电子科技大学光电信息学院,成都 610054;中国科学院光电技术研究所,成都 610209; (3)中国科学院光电技术研究所,成都 610209

摘要: 推导了调制的平顶光束激励下基于Fresnel衍射积分的表面热透镜理论,通过数值模拟,比较了平顶光束和高斯光束激励下样品内部温度场、表面形变场和探测光衍射信号的径向分布,分析了影响表面热透镜信号的实验参数.结果表明,在最佳探测位置,平顶光束激励下的表面热透镜系统比相同情况下高斯光束激励下的灵敏度高,最高时约2倍,更有利于薄膜吸收测量.

English Abstract

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