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一氧化碳合成金刚石薄膜的形貌和结构分析

刘燕燕 E. Bauer-Grosse 张庆瑜

一氧化碳合成金刚石薄膜的形貌和结构分析

刘燕燕, E. Bauer-Grosse, 张庆瑜
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-11-06
  • 修回日期:  2007-03-26
  • 刊出日期:  2007-11-20

一氧化碳合成金刚石薄膜的形貌和结构分析

  • 1. (1)Laboratoire de Science et Génie des Surfaces,Ecole des Mines,Nancy 54042,France; (2)大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连 116024; (3)大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连 116024;Laboratoire de Science et Génie des Surfaces,Ecole des Mines,Nancy 54042,France
    基金项目: 

    中法先进研究计划(批准号:MX01-02)和法国国际科学合作项目资助的课题.

摘要: 利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术,采用偏压增加成核(BEN)、两步生长的方法在一氧化碳(CO)和氢气(H2)的环境下制备了金刚石薄膜. 利用扫描电子显微镜(SEM)、Raman光谱仪和透射电子显微镜(TEM)对金刚石薄膜的形貌和结构进行了分析. 研究发现金刚石晶粒在第一步成核及生长的过程中产生了层错和孪晶,而在第二步的生长过程中产生的层错和孪晶很少,最终形成的金刚石晶粒外表面比较光滑,包含有近五次对称或者平行的片状的孪晶,并可以观察到少量的位错. 而在样品的边缘由于等离子体的不均匀产生了比样品中心成核密度低的区域. 在这个区域中,发现了一个新的非金刚石的碳结构.

English Abstract

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