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金属互连电迁移噪声的分形特征

陈春霞 杜 磊 何 亮 胡 瑾 黄小君 卫 涛

金属互连电迁移噪声的分形特征

陈春霞, 杜 磊, 何 亮, 胡 瑾, 黄小君, 卫 涛
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-02-19
  • 修回日期:  2007-04-12
  • 刊出日期:  2007-11-20

金属互连电迁移噪声的分形特征

  • 1. 西安电子科技大学技术物理学院,西安 710071
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:60376023)和西安应用材料创新基金(批准号:XA-AM-200603)资助的课题.

摘要: 为了研究金属互连电迁移失效机理并寻找新的电迁移表征参量,应用分形理论,通过电子扩散轨迹分形维数,将电迁移噪声时间序列分形维数与晶粒间界分形维数相联系,确定了噪声时间序列分形维数在电迁移演变中的变化趋势.研究结果表明,在金属互连电迁移前期,晶粒间界形貌越来越复杂,致使噪声时间序列的分形维数逐渐增大;成核后,由于空位凝聚成空洞,晶粒间界形貌变得较成核前规则,致使噪声时间序列的分形维数减小;成核时刻是其折点.实验结果证明理论分析的正确性,噪声时间序列的分形维数可望作为金属互连电迁演变的表征参量.

English Abstract

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