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体心立方金属W薄膜晶体取向的膜厚尺寸效应及其表面映射

汪 渊 宋忠孝 徐可为

体心立方金属W薄膜晶体取向的膜厚尺寸效应及其表面映射

汪 渊, 宋忠孝, 徐可为
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-10-18
  • 修回日期:  2007-05-25
  • 刊出日期:  2007-06-05

体心立方金属W薄膜晶体取向的膜厚尺寸效应及其表面映射

  • 1. 
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:50771069)和国家重点基础研究发展规划(批准号:2004CB619302)资助的课题.

摘要: 体心立方W膜(110)织构系数T110的变化存在非单调的厚度尺寸效应,这依赖于薄膜中晶粒形核和长大时表面能和应变能的相互作用,薄膜表面结构演变反映了两者的竞争过程.应用小波变换结合分形几何描述薄膜表面结构各向异性行为,用此法构建了薄膜织构系数T110与表面结构各向异性的关系,表明薄膜晶体取向存在表面映射.

English Abstract

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