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相干点源照明时消球差光学系统的像场结构

郭汉明 陈家璧 庄松林

相干点源照明时消球差光学系统的像场结构

郭汉明, 陈家璧, 庄松林
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-06-26
  • 修回日期:  2006-08-30
  • 刊出日期:  2007-01-05

相干点源照明时消球差光学系统的像场结构

  • 1. 上海理工大学光学与电子信息工程学院,上海 200093
    基金项目: 

    国家重点基础研究发展计划(973)项目(批准号:2005CB724304),上海市重点学科建设项目(批准号:T0501),国家自然科学基金(批准号:60478045),上海市科学技术发展基金(批准号:04dz05110)和高等学校博士学科点专项科研基金(批准号:20040252004)资助的课题.

摘要: 利用矢量傅里叶变换和稳相法获得了相干点源位于光轴上任意位置时,消球差光学系统像场结构的积分表达式,详细研究了使用线偏振光照明时像平面上大物方孔径角对像场结构的影响.模拟计算表明,在像空间垂直于光轴的平面上,如果物方孔径角较大,磁场分布绕光轴旋转90°后不再与电场分布相同,电场能量密度、磁能量密度和玻印亭矢量分布的等高线始终近似为椭圆,并且物方孔径角是导致玻印亭矢量分布失去圆对称性的主要因素.同时当使用小像方孔径角时,电场能量密度分布形状的长轴方向垂直于物空间电场的振动方向;随着像方孔径角逐渐增大,电场能量密度分布形状的长轴方向将逐渐变为与物空间电场的振动方向相同.这些结论完全不同于以前理论所预测的结果.

English Abstract

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