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激光驻波场形成Cr原子沉积纳米光栅的初步实验研究

马 艳 张宝武 郑春兰 马珊珊 李佛生 王占山 李同保

激光驻波场形成Cr原子沉积纳米光栅的初步实验研究

马 艳, 张宝武, 郑春兰, 马珊珊, 李佛生, 王占山, 李同保
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-04-06
  • 修回日期:  2006-06-22
  • 刊出日期:  2007-07-11

激光驻波场形成Cr原子沉积纳米光栅的初步实验研究

  • 1. 同济大学物理系,上海 200092
    基金项目: 

    上海市纳米技术专项基金(批准号:0259nm034,0452nm029)资助的课题.

摘要: 利用激光驻波场会聚原子沉积纳米结构的技术可以用来研制纳米结构长度传递标准.当激光驻波场的频率大于原子的共振频率时,原子由于受到偶极力的作用将被会聚到驻波的波节处.采用了一种新的技术方案减小了实验对大的激光功率的要求.利用激光驻波场会聚准直性较好的Cr原子,并使其沉积在硅基片上形成纳米光栅结构.经原子力显微镜测试表明纳米光栅的周期为215 nm.

English Abstract

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