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乙炔气体流量对纳米TiC类金刚石复合膜的化学结构及力学性能影响

马国佳 张华芳 武洪臣 彭丽平 蒋艳莉 刘喜亮

乙炔气体流量对纳米TiC类金刚石复合膜的化学结构及力学性能影响

马国佳, 张华芳, 武洪臣, 彭丽平, 蒋艳莉, 刘喜亮
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-01-12
  • 修回日期:  2006-09-25
  • 刊出日期:  2007-02-05

乙炔气体流量对纳米TiC类金刚石复合膜的化学结构及力学性能影响

  • 1. (1)北京航空制造工程研究所,北京 100024; (2)哈尔滨工程大学机电工程学院,哈尔滨 150001
    基金项目: 

    国防科技重点实验室基金 (批准号:51461070905ZS5003)资助的课题.

摘要: 采用离子注入与反应磁控溅射相结合的方法在钛合金及硅片基体表面上制备了纳米TiC类金刚石(DLC)复合膜.通过纳米压痕技术检测了薄膜的纳米硬度,显微划痕试验评估了薄膜的结合力.通过X射线光电子能谱及X射线衍射表征了薄膜的化学结构.结果表明,通过改变C2H2气体流量,可以达到控制薄膜中钛原子含量的目的,合适的C2H2气体流量可以在DLC膜中形成较多的纳米TiC晶粒,形成DLC包覆TiC晶粒的复合结构,使DLC膜力学性能得到明显提高.另外,划痕试验表明掺钛、先注入后沉积工艺都使薄膜的结合力得到了较大提高.

English Abstract

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