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半导体远红外反射镜中反射率和相位研究

徐 敏 张月蘅 沈文忠

半导体远红外反射镜中反射率和相位研究

徐 敏, 张月蘅, 沈文忠
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-09-14
  • 修回日期:  2006-12-14
  • 刊出日期:  2007-04-20

半导体远红外反射镜中反射率和相位研究

  • 1. 上海交通大学物理系,上海 200240
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:10125416, 10304010, 60576067)和上海市青年科技启明星跟踪计划(批准号:05QMH1411)资助的课题.

摘要: 以GaAs材料为例,研究了半导体远红外反射镜中的反射率和相位.通过拟合不同掺杂浓度下样品的远红外反射谱,得到了自由载流子的弛豫时间随掺杂浓度变化的经验公式,并把该规律应用到数值计算中.详细讨论了反射镜的结构和材料参数对反射率R和相位φ的影响.根据腔体内吸收率最高的判据得到了最优的反射镜的参数,并计算了这种优化后的反射镜的波长选择特性.最后,通过远红外反射光谱的测量,从实验上验证了这种反射镜的实际效果. 所得结论为半导体远红外器件中的反射镜设计提供了参考.

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