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表征超大规模集成电路互连纳米薄膜硬度特性的声表面波的频散特性

肖 夏 姚素英 尤学一

表征超大规模集成电路互连纳米薄膜硬度特性的声表面波的频散特性

肖 夏, 姚素英, 尤学一
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-07-03
  • 修回日期:  2006-12-08
  • 刊出日期:  2007-04-20

表征超大规模集成电路互连纳米薄膜硬度特性的声表面波的频散特性

  • 1. (1)天津大学电子信息工程学院,天津 300072; (2)天津大学环境科学与工程学院,天津 300072
    基金项目: 

    国家自然科学基金 (批准号:60406003)和天津市自然科学基金(批准号:043612311)资助的课题.

摘要: 利用声表面波(SAW)的频散特性来表征超大规模集成电路(ULSI)互连系统中低介电常数(k)薄膜的物性具有准确、快速、对材料无损伤等突出优点.研究了Si(100)衬底上淀积低k薄膜的分层结构中,SAW沿任意方向传播的色散关系.引入坐标变换后,单层薄膜特征矩阵从9阶降到6阶,双层薄膜特征矩阵从15阶降到10阶,大幅度提高了计算速度,有利于生产ULSI过程中的在线监测.

English Abstract

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