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氟化铒薄膜晶体结构与红外光学性能的关系

苏伟涛 李 斌 刘定权 张凤山

氟化铒薄膜晶体结构与红外光学性能的关系

苏伟涛, 李 斌, 刘定权, 张凤山
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-06-19
  • 修回日期:  2006-08-07
  • 刊出日期:  2007-05-20

氟化铒薄膜晶体结构与红外光学性能的关系

  • 1. 中国科学院上海技术物理研究所光学薄膜与材料实验室,上海 200083
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:60678058)资助的课题.

摘要: 使用热蒸发技术在锗(111)衬底上制备了氟化铒(ErF3)薄膜. XRD衍射结果表明,随着衬底温度的增加,氟化铒薄膜发生了从非晶状态到结晶状态的转变,薄膜的表面形貌和红外光学性能也发生了显著的变化,部分结晶的氟化铒薄膜的远红外透射谱和完全非晶的薄膜基本一致,但是与结晶薄膜则没有相似之处. 晶格常数计算表明薄膜中存在压应力. 使用洛伦兹谐振子模型对薄膜的透射率曲线进行拟合计算,得到ErF3薄膜的折射率和消光系数. 在10μm处非晶薄膜的折射率和消光系数最小值分别为1.38和0.01,结晶薄膜的折射率和消光系数最小值分别为1.32和0.006.

English Abstract

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