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含氮氟化类金刚石(FN-DLC)薄膜的研究:(Ⅲ)疏水性能分析

邓超生 王焕友 徐 慧 李燕峰 肖剑荣

含氮氟化类金刚石(FN-DLC)薄膜的研究:(Ⅲ)疏水性能分析

邓超生, 王焕友, 徐 慧, 李燕峰, 肖剑荣
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-10-11
  • 修回日期:  2006-12-07
  • 刊出日期:  2007-05-20

含氮氟化类金刚石(FN-DLC)薄膜的研究:(Ⅲ)疏水性能分析

  • 1. (1)中南大学材料科学与工程学院,长沙 410083; (2)中南大学物理科学与技术学院,长沙 410083; (3)中南大学物理科学与技术学院,长沙 410083;中南大学材料科学与工程学院,长沙 410083

摘要: 不同沉积条件下,在单晶硅基底上沉积了含氮氟化类金刚石(FN-DLC)薄膜,用静滴接触角/表面张力测量仪测量了水与FN-DLC膜表面的接触角.用X射线光电子能谱、Raman光谱和傅里叶变换吸收红外光谱(FTIR)分析了薄膜的组分和结构.用原子力显微镜观测了薄膜的表面形貌.结果表明,FN-DLC薄膜疏水性能主要取决于薄膜表面的化学结构、薄膜表面极化强度的强弱、以及薄膜的表面粗糙度的大小.sp3/sp2的比值减小,CF2基团含量增加,薄膜粗糙度增加,接触角增大;反之,则接触角减小.在工艺上,沉积温度和功率的减小,气体流量比r(r=CF4/[CF4+CH4])的增加,都会使水的浸润性变差,接触角增大.

English Abstract

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