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γ-LiAlO2上非极性ZnO薄膜制备及其光谱性质研究

周健华 周圣明 黄涛华 林 辉 李抒智 邹 军 王 军 张 荣

γ-LiAlO2上非极性ZnO薄膜制备及其光谱性质研究

周健华, 周圣明, 黄涛华, 林 辉, 李抒智, 邹 军, 王 军, 张 荣
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-09-11
  • 修回日期:  2006-12-14
  • 刊出日期:  2007-07-20

γ-LiAlO2上非极性ZnO薄膜制备及其光谱性质研究

  • 1. (1)南京大学物理系,南京 210093; (2)中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800; (3)中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800;中国科学院研究生院,北京 100049
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:60676004),上海市浦江计划(批准号:05PJ14100)和中科院百人计划资助的课题.

摘要: 利用激光脉冲沉积(PLD)技术在(302)γ-LiAlO2衬底上成功生长了非极性的a面(1120) ZnO薄膜. 衬底温度为350℃时,薄膜是混合取向(a向和c向),以c面ZnO为主,且晶粒尺寸分布很宽;提高温度达500℃,薄膜变为单一的(1120)取向,摇摆曲线半高宽0.65°,晶粒尺寸分布趋窄,利用偏振透射谱可以明显看出其面内的各向异性. 衬底温度650℃下制备的样品晶粒继续长大,虽然摇摆曲线半高宽变大,但光致发光谱(PL)带边发射峰半高宽仅为105meV,比在350℃,500℃下制备的样品小1/5.

English Abstract

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