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磷化铟中铁原子替位与填隙的热致转变及其对材料性质的影响

苗杉杉 邓爱红 杨 俊 王 博 赵有文 董志远 吕小红

磷化铟中铁原子替位与填隙的热致转变及其对材料性质的影响

苗杉杉, 邓爱红, 杨 俊, 王 博, 赵有文, 董志远, 吕小红
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-12-21
  • 修回日期:  2007-02-03
  • 刊出日期:  2007-09-20

磷化铟中铁原子替位与填隙的热致转变及其对材料性质的影响

  • 1. (1)四川大学物理学院应用物理系,成都 610065; (2)中国科学院半导体研究所,北京 100083

摘要: 高温退火后掺铁半绝缘(SI)InP单晶转变为n型低阻材料.利用霍尔效应(Hall),热激电流谱(TSC),深能级瞬态谱(DLTS),X射线衍射等方法分别研究了退火前后InP材料的性质和缺陷.结果表明受高温热激发作用部分铁原子由替位转变为填隙,导致InP材料缺少深能级补偿中心而发生导电类型转变.通过比较掺杂、扩散和离子注入过程Fe原子的占位和激活情况分析了这一现象的机理和产生原因.

English Abstract

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