搜索

文章查询

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

CoFeB/MgO不连续多层纳米软磁薄膜微波电磁特性

马 强 江建军 别少伟 杜 刚 冯则坤 何华辉

CoFeB/MgO不连续多层纳米软磁薄膜微波电磁特性

马 强, 江建军, 别少伟, 杜 刚, 冯则坤, 何华辉
PDF
导出引用
导出核心图
计量
  • 文章访问数:  3812
  • PDF下载量:  1321
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2008-01-30
  • 修回日期:  2008-04-02
  • 刊出日期:  2008-10-20

CoFeB/MgO不连续多层纳米软磁薄膜微波电磁特性

  • 1. 华中科技大学电子科学与技术系,武汉 430074
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:50771047和50371029),新世纪优秀人才支持计划(批准号:NCET20420702) 和湖北省杰出青年基金计划(批准号:2005ABB002)资助的课题.

摘要: 采用直流/射频磁控溅射方法和不连续多层交替沉积工艺,制备了CoFeB/MgO系列纳米不连续多层薄膜,研究了微波频段下的电磁性能.结果表明,通过调整CoFeB合金相和MgO介质相的相对含量可有效调控薄膜的微结构和电磁性能,且在[Co64Fe24B12(0.7nm)/MgO(0.4nm)]40薄膜中获得了优良的微波软磁性能和高电阻率,其饱和磁化强度1.3 T,难轴矫顽力130 A/m,电阻率3.4mΩ·cm,且共振频率高达2.1 GHz,磁导率实部μ′和虚部μ″在1.59 GHz处均高于240,并且在0.9—2 GHz宽频带范围同时大于100.该薄膜可用于微波吸收材料和电磁兼容的设计中.

English Abstract

目录

    /

    返回文章
    返回