搜索

文章查询

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

数值模拟探针诱导表面等离子体共振耦合纳米光刻

唐晓东 洪小刚 徐文东 李小刚 赵成强

数值模拟探针诱导表面等离子体共振耦合纳米光刻

唐晓东, 洪小刚, 徐文东, 李小刚, 赵成强
PDF
导出引用
导出核心图
计量
  • 文章访问数:  5087
  • PDF下载量:  5889
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2007-12-28
  • 修回日期:  2008-03-26
  • 刊出日期:  2008-10-20

数值模拟探针诱导表面等离子体共振耦合纳米光刻

  • 1. (1)华东师范大学信息科学技术学院,上海 200241; (2)中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800
    基金项目: 

    上海市科委科技基金(批准号:06DJ14007),国家自然科学基金重大项目(批准号:60490294),国家自然科学基金(批准号:50502036)和上海市“曙光”计划(批准号:06SG30)资助的课题.

摘要: 采用有损耗介质和色散介质的二维时域有限差分方法,数值模拟了以光波长514.5nm的p偏振基模高斯光束为入射光源,激发Kretschmann型表面等离子体共振,并通过探针的局域场增强效应实现纳米光刻的新方法——探针诱导表面等离子体共振耦合纳米光刻.分别就探针与记录层的间距以及探针针尖大小,模拟分析了不同情况下探针的局域场增强效应和记录层表面的相对电场强度振幅分布.结果表明,探针工作在接触模式时,探针的局域场增强效应最明显,记录层表面的相对电场强度振幅的对比度最大;当探针针尖距记录层5nm时,针尖下方记录层表面的相对电场强度振幅大于光刻临界值的分布宽度与针尖尺寸相近.

English Abstract

目录

    /

    返回文章
    返回