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AlN/BN纳米结构多层膜微结构及力学性能

喻利花 董师润 许俊华

AlN/BN纳米结构多层膜微结构及力学性能

喻利花, 董师润, 许俊华
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-01-12
  • 修回日期:  2008-08-04
  • 刊出日期:  2008-06-05

AlN/BN纳米结构多层膜微结构及力学性能

  • 1. 
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:50574044)资助的课题.

摘要: 用射频磁控溅射法制备了AlN,BN单层膜及AlN/BN纳米多层膜.采用X射线衍射仪、高分辨率透射电子显微镜和纳米压痕仪对薄膜结构进行表征.分析表明:单层膜AlN为w-AlN结构,BN为非晶相.AlN/BN多层膜中BN的结构与BN层厚有关.当BN层厚小于0.55nm时,由于AlN层模板的作用,BN发生了外延生长,BN与AlN的结构相同;当BN层厚大于0.74nm时,BN为非晶.AlN/BN多层膜的硬度也与BN层的厚度有关.当BN层厚为1—2个分子层时,AlN/BN多层膜具有超硬效应;当BN层厚增加到0.74

English Abstract

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