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PbTiO3/PbZr0.3Ti0.7O3/PbTiO3夹心结构铁电薄膜子晶层的优化

王龙海 于 军 王耘波 高峻雄 赵素玲

PbTiO3/PbZr0.3Ti0.7O3/PbTiO3夹心结构铁电薄膜子晶层的优化

王龙海, 于 军, 王耘波, 高峻雄, 赵素玲
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-03-04
  • 修回日期:  2007-03-20
  • 刊出日期:  2008-01-05

PbTiO3/PbZr0.3Ti0.7O3/PbTiO3夹心结构铁电薄膜子晶层的优化

  • 1. (1)华中科技大学电子科学与技术系,武汉 430074; (2)武汉理工大学材料研究与测试中心,武汉 430070
    基金项目: 

    国家自然科学基金重大研究计划(批准号:90407023)资助的课题.

摘要: 用Sol-Gel法制备了Pb(1+x)TiO3/PbZr03Ti07O3/Pb(1+x)TiO3(PT/PZT/PT)夹心结构及PZT铁电薄膜,为了获得高质量的PT/PZT/PT夹心结构铁电薄膜,使用不同过量Pb配比(x)的PbTiO3 (PT)层进行制备,以获得优化的PT子晶层.X射线

English Abstract

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