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SrTiO3薄膜生长初期Sr,Ti,O原子分子反应机理的理论研究

李言荣 李来才 杨 春 王佩怡

SrTiO3薄膜生长初期Sr,Ti,O原子分子反应机理的理论研究

李言荣, 李来才, 杨 春, 王佩怡
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-05-13
  • 修回日期:  2007-09-12
  • 刊出日期:  2008-02-05

SrTiO3薄膜生长初期Sr,Ti,O原子分子反应机理的理论研究

  • 1. (1)电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都 610054; (2)四川师范大学化学与材料科学学院,成都 610068; (3)四川师范大学计算机软件实验室,成都 610068;电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都 610054; (4)四川师范大学计算机软件实验室,成都 610068;四川师范大学化学与材料科学学院,成都 610068
    基金项目: 

    国防预研基金(批准号:51310Z03,61363)和四川省青年科技基金(批准号:07ZQ026-021)资助的课题.

摘要: 在激光分子束外延(LMBE)生长SrTiO3(STO)薄膜过程中,激光闪蒸出的Sr,Ti,O原子的微观反应过程及粒子形态是STO薄膜生长初期形成的关键.采用密度泛函理论中的广义梯度近似(DFT/GGA)方法,在PW91/DNP 水平上研究了Sr,Ti,O原子在真空中的优先反应过程和形态,计算研究了SrO,TiO2和STO分子形成的反应机理,获得了相应的中间体和过渡态及反应活化能,并运用前线轨道理论分析了STO分子的形成机理.对比计算了STO分子可能的几何构型,得

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