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纳米多层膜“软"相结构参量对硬度的Hall-Petch表征

张建民 刘明霞 黄 平 徐可为

纳米多层膜“软"相结构参量对硬度的Hall-Petch表征

张建民, 刘明霞, 黄 平, 徐可为
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-06-30
  • 修回日期:  2007-11-28
  • 刊出日期:  2008-04-25

纳米多层膜“软"相结构参量对硬度的Hall-Petch表征

  • 1. (1)陕西师范大学物理学与信息技术学院,西安 710062; (2)西安交通大学金属材料强度国家重点实验室,西安 710049
    基金项目: 

    国家重点基础研究发展规划 (批准号: 2004CB619302)、国家自然科学基金(批准号: 50501035, 50531060, 50771078,5001019,50701034)和教育部新世纪优秀人才支持计划(批准号: NCET-07-0665)资助的课题.

摘要: 采用直流磁控溅射方法制备了不同调制比的Ni/Al纳米多层膜,利用X射线衍射技术和纳米压入连续刚度法分析了薄膜微结构及塑性变形的尺度依赖性.实验结果表明,尽管调制比有所不同,多层膜的硬度与“软"相的微结构特征参量随调制波长减小具有相似变化规律,说明多层膜的变形机制对“软"相的微结构约束存在敏感性.随着薄膜特征尺度的减小,为统一多层膜中晶界和膜界两种强化机制,提出一个与“软”相相关的表征参量r(r=Lsub/d,L

English Abstract

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