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氧气氛中p-GaN/Ni/Au电极在相同温度不同合金时间下的欧姆接触形成机制和扩散行为

丁志博 王 坤 陈田祥 陈 迪 姚淑德

氧气氛中p-GaN/Ni/Au电极在相同温度不同合金时间下的欧姆接触形成机制和扩散行为

丁志博, 王 坤, 陈田祥, 陈 迪, 姚淑德
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-07-27
  • 修回日期:  2007-09-01
  • 刊出日期:  2008-04-25

氧气氛中p-GaN/Ni/Au电极在相同温度不同合金时间下的欧姆接触形成机制和扩散行为

  • 1. 北京大学物理学院,北京 100871
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:10575007)资助的课题.

摘要: 用卢瑟福背散射/沟道技术研究了p-GaN上的Ni/Au电极在氧气氛下相同合金温度(500℃)不同合金时间后的微结构演化,以揭示欧姆接触的形成机制.利用背散射随机谱和RUMP模拟程序研究了电极金属之间的互扩散,用沟道谱探测了电极金属中的氧分布.结合不同合金时间下比接触电阻ρc的变化,发现随着合金时间的延长比接触电阻持续降低,在合金时间60 s后降低的速度减慢, Au扩散到GaN的表面,在p-GaN上形成外延结构,O向电极内部扩散反应生成NiO对降低ρ

English Abstract

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