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氮化硅薄膜中纳米非晶硅颗粒的键合结构及光致发光

于 威 李亚超 丁文革 张江勇 杨彦斌 傅广生

氮化硅薄膜中纳米非晶硅颗粒的键合结构及光致发光

于 威, 李亚超, 丁文革, 张江勇, 杨彦斌, 傅广生
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-09-04
  • 修回日期:  2007-10-24
  • 刊出日期:  2008-03-05

氮化硅薄膜中纳米非晶硅颗粒的键合结构及光致发光

  • 1. 河北大学物理科学与技术学院,保定 071002
    基金项目: 

    河北省自然科学基金(批准号:2006000999, 2007000201和2004000119)资助的课题.

摘要: 采用螺旋波等离子体化学气相沉积技术以N2/SiH4/H2为反应气体制备了镶嵌有纳米非晶硅颗粒的氢化氮化硅薄膜,通过改变N2流量实现了薄膜从红到蓝绿的可调谐光致发光.傅里叶红外透射和紫外-可见光吸收特性分析表明,所生长薄膜具有较高的氢含量,N2流量增加使氢的键合结构发生变化,非晶硅颗粒尺寸减小,所对应的薄膜的光学带隙逐渐增加和微观结构有序度减小.可调光致发光(PL)主要来源于纳米硅颗粒的量子限制效应发光,随N2流量增加,PL的谱线展宽并逐渐增强.

English Abstract

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