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衬底温度对PLD法生长的Mg0.05Zn0.95O薄膜结构和发光特性的影响

吴小丽 陈长乐 韩立安 罗炳成 高国棉 朱建华

衬底温度对PLD法生长的Mg0.05Zn0.95O薄膜结构和发光特性的影响

吴小丽, 陈长乐, 韩立安, 罗炳成, 高国棉, 朱建华
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-07-26
  • 修回日期:  2007-10-31
  • 刊出日期:  2008-06-20

衬底温度对PLD法生长的Mg0.05Zn0.95O薄膜结构和发光特性的影响

  • 1. 西北工业大学凝聚态结构与性质陕西省重点实验室,西安 710072
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:50331040和60171034)资助的课题.

摘要: 用脉冲激光沉积(PLD)法在不同温度的Si(111)衬底上成功制备了c轴择优取向的Mg005Zn095O薄膜.通过X射线衍射(XRD)和光致发光谱(PL)研究了衬底温度对Mg005Zn095O薄膜结构和发光特性的影响,探讨了薄膜的结晶质量与发光特性之间的关系.结果表明,在衬底温度为450℃时生长的Mg005Zn095O薄膜具有很好的c轴取向和较强的光致发光峰.室温下分别用激发波长为240,300和325nm的氙灯作为激发光源得到不同样品的PL谱,分析表明紫外发光峰和紫峰来源于自由激子的复合辐射且发光强度与薄膜的结晶质量密切相关,蓝绿发光峰与氧空位有关.此外,探讨了衬底温度影响紫外光致发光峰红移和蓝移的可能机理.

English Abstract

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