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甚高频高速沉积微晶硅薄膜的研究

郭学军 卢景霄 陈永生 张庆丰 文书堂 郑 文 申陈海 陈庆东

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甚高频高速沉积微晶硅薄膜的研究

郭学军, 卢景霄, 陈永生, 张庆丰, 文书堂, 郑 文, 申陈海, 陈庆东

Research on the high-rate deposition of μc-Si:H by VHF-PECVD

Guo Xue-Jun, Lu Jing-Xiao, Chen Yong-Sheng, Zhang Qing-Feng, Wen Shu-Tang, Zheng Wen, Shen Chen-Hai, Chen Qing-Dong
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-11-22
  • 修回日期:  2008-01-22
  • 刊出日期:  2008-09-20

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